NanoAir™ 10 에어로졸 파티클 카운터

이 제품은 나노입자의 이송 및 공급을 지원하도록 설계된 유일한 매니폴드 시스템입니다.

10포트 매니폴드용 보조 제품( ParticleSeeker™ )은 여러 시료 위치를 순차적으로 또는 프로그램된 순서대로 모니터링해야 하는 응용 분야를 지원합니다.

이 10포트 매니폴드 시스템을 사용하면 단일 CPC로 전체 EFEM/미니 환경을 커버할 수 있습니다. 이 매니폴드 시스템은 120제곱피트 면적을 커버할 수 있습니다.

포트 간 전환 시간은 단 0.1초에 불과하며, 크로스톡이 최소화됩니다. 이 매니폴드는 다음을 위한 다양한 작동 모드를 지원합니다:

• 장비 검증
• 트랙/공정 추적
• 통합 팹 이벤트에 대한 자동 대응
• 공정 장비 내 웨이퍼 추적

이 CPC는 경쟁사 제품보다 크기가 83% 더 작아, 반도체 공정 장비 내부 및 프런트엔드 장비 모듈(EFEM)을 포함한 청정 환경의 어느 곳에서나 모니터링할 수 있습니다.

당사의 FacilityNet 입자 모니터링 소프트웨어를 사용하거나 MODBUS 이더넷 프로토콜을 통해 타사 SCADA 시스템이나 공정 도구로 데이터를 직접 전송함으로써 데이터를 신속하게 확인, 분석 및 보고할 수 있습니다. 0.1초 간격의 데이터 샘플링을 통해 정밀한 제어와 실질적인 공정 통찰력을 얻을 수 있습니다.

데이터와 계측기에 원격으로 액세스할 수 있습니다.

NanoAir 10을 HPD- III와 함께 사용하면 고압 불활성 가스를 10 nm 수준까지 분석할 수 있어, 중요 환경으로 유입되는 가스의 입자 오염을 탁월하게 제어할 수 있습니다.

NanoAir 10은 제로 카운트 공제 방식을 사용하지 않습니다. 모든 입자를 감지하고 계수함으로써, 초고청정 환경에서 타의 추종을 불허하는 성능을 보장합니다.

이 장치는 시중의 모든 CPC(입자 계수기) 중 가장 낮은 오차율(≤1.5#/m³)을 자랑합니다.