Chem 20™ 케미컬 파티클 카운터
Chem 20™ 케미컬 파티클 카운터
20nm 파티클을 측정할 수 있는 세계 최초 20nm의 케미컬 파티클 카운터 입니다.
Chem 20™ 케미컬 파티클 카운터
최첨단 마이크로칩 공정은 20nm 이하의 파티클을 여과한 고순도 케미컬을 필요로 합니다.
신규 출시된Chem 20은 20nm 파티클을 측정할 수 있는 세계 최초 20nm의 케미컬 파티클 카운터 입니다. 다양한 케미컬 공급장치와 패키징 시스템에서 검증된 데이터는 Chem 20 을 통해 경쟁사보다 더 높은 효율로 의미있는 통계적 데이터를 확보할 수 있다는 것을 입증합니다.
Chem 20 케미컬 파티클 카운터는 공정/Facility 엔지니어들이 소자의 성능과 공정에 영향을 미치기 전에 파티클 소스를 신속하게 파악 할 수 있게 하는 중요한 장비입니다.
제품 상세 내역
- Advanced laser optics and detectors enable 20 nm sensitivity in chemicals
- On-board chemical flow meter to set sample flow
- First particle counter optimized for low and high refractive index chemicals for improved performance:
- Chem 20 sensor, for chemicals with lower indices of refraction
- Chem 20-HI sensor, tailored for sulfuric acid and other higher-index chemicals
- On-board leak detection to provide alarm upon an internal chemical leak
- Low-flow detector and alarm to ensure consistent data
- Bubble detector to optimize data and protect sensor
- Local data display
- Detect 20 nm PSL & 9 nm Au particles in real time
- Detect yield-limiting particles (not possible with competitive technologies)
- React quickly to particle excursions long before surface scan or yield data are available
- Optimize chemical delivery systems from the loading dock to point-of-process
- Tighten process control limits through improved sample population statistics
- Optimize instrument operation for very dirty or very clean applications using two view modes, extending product application space
- Support legacy data acquisition systems with flexible communications
- Real-time particle monitoring within chemical distribution systems
- Point-of-process monitoring
- Chemical packaging operations monitoring
- Chemical filter performance and efficiency characterization
- Performance testing of chemical handling components
리소스
액세서리
관련 제품
