액체의 마이크로버블에 영향을 미치는 요인들

요약

반도체 제조 산업에서 마이크로버블(직경 100μm이하의 기포)은 제조 수율을 감소시키는 오염 물질이 되기도 합니다. 예를 들어, 포토레지스트 내의 마이크로버블이 웨이퍼에 주입될 경우 마이크로 회로에 결함을 발생시켜 조기 고장이 야기될 수 있습니다. 이 논문에서는 액체 내에서 마이크로버블이 형성되는데 영향을 미치는 요인 및 광학 파티클 카운터를 이용해 마이크로버블을 경질 입자와 구분하는 방법을 설명합니다. 물과 일반적인 포토레지스트 용제인 프로필렌 글리콜 메틸에테르 아세테이트에서의 실험 결과를 제시합니다. 그 결과는 이론적인 예측과 비교되어 있습니다.

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