Real-Time Aerosol Nanoparticle Monitoring Down to 10 nm
NanoAir는 생산 프로세스를 개선하기 위해 10nm까지 입자를 감지할 수 있는 새로운 실시간 기술을 사용합니다. 이 기술은 또한 칩 제조에 사용되는 가스의 청결성을 검증하는 데 사용할 수 있습니다.
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NanoAir는 생산 프로세스를 개선하기 위해 10nm까지 입자를 감지할 수 있는 새로운 실시간 기술을 사용합니다. 이 기술은 또한 칩 제조에 사용되는 가스의 청결성을 검증하는 데 사용할 수 있습니다.
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