• 10 매니폴드 포인트
• 샘플 유량: 0.1 CFM
• 샘플 간격: 최소 1초, 최대 3600초
• 최대 120m² 의 fab/프로세스 공간 샘플링 범위
• LED는 활성 샘플링 포트를 나타냅니다.
• 다중(4) 샘플링 모드
  » 앙상블: 모든 포트를 동시에 샘플링
  » 시커: 앙상블 작업 중에 식별되는 모든 포트 대상
  » 동기화: 실시간으로 공정 도구와 통신하여 EFEM 내에서 웨이퍼를 추적
  » 사용자 정의
• 작은 설치 공간: 8.2 x 5.4 x 4.7인치(21x14x12cm)
• 계측기 IP 주소 및 위치
• 건식 접점 릴레이(x4)
• 추가 센서용 4-20mA IN(x4) 및 OUT(x2)(예: 온도, RH, DAP)
• USB를 통한 직렬 연결용 USB(서비스 포트)
• 엄지 드라이브용 USB
• 이더넷 포트(2): TCP/IP를 통한 이더넷 프로토콜 및 MODBUS

• 120m²의 fab/프로세스 공간 샘플링 범위 제공
• 샘플 나노파티클(<100nm)와 함께 사용하도록 설계 및 제작된 시중 유일의 에어로졸 파티클 매니폴드
• 누화 및 기타 일반적인 나노입자 수송 처리 문제를 제거합니다.
• 순차적 또는 프로그래밍된 순서로 여러 샘플 위치를 모니터링하는 기능
• 다중 입력/출력 통신 인터페이스는 원활한 SCADA 데이터 전송을 가능하게 하여 공정 도구 다운타임을 줄입니다
• DC 전원 입력 및 출력을 통해 NanoAir 10은 ParticleSeeker와 데이지 체인 방식으로 전원을 공유하고 AC 콘센트 사용을 최소화할 수 있습니다

ParticleSeeker + NanoAir 10 (에어로졸 파티클 카운터):

• 내부 프로세스 도구 EFEM(Equipment Front End Module) 미니 환경 모니터링
• 웨이퍼 또는 기타 중요한 표면의 경로를 따르는 프로그래밍된 샘플 포인트 모니터링이 필요한 어플리케이션에 이상적
• 여러 매니폴드 포트 사용 시 광범위한 오염 모니터링