나노에어 종합 가이드북

ParticleSeeker™ 스마트 매니폴드

단일 시스템으로 최대 10개 지점을 모니터링할 수 있습니다. ParticleSeeker™는 NanoAir™ 10 및 0.1 CFM Airnet® II 카운터와 연동되어 EFEM 미니 환경 내부에서도 순차적 또는 프로그램된 샘플링을 제공합니다. ParticleSeeker™와 NanoAir™를 함께 사용하면 최대 120m²에 달하는 중요한 팹 공간을 커버할 수 있습니다.

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Particle Measuring Systems의 ParticleSeeker 베이스 아웃

Particleseeker Airborne Particle Counter

초고청정 환경을 위해 특별히 설계된 제품으로, 10nm 미만의 미세 입자까지 처리할 수 있도록 제작된 유일한 에어로졸 매니폴드입니다. 정밀성을 위해 설계되어 크로스톡 및 일반적인 나노입자 이동 문제를 해결합니다.

유연한 샘플링 모드

■ 사용자 정의 시퀀스를 통한 맞춤형 워크플로우

■ 동시 다중 포트 샘플링을 위한 앙상블

■ 이벤트 기반 모니터링을 위해 외부 팹 공정과 실시간으로 연동되는 동기화 모드

광범위한 적용 범위

■ 10개의 매니폴드 포인트를 통해 최대 120m² 규모의 제조 시설 공간을 샘플링할 수 있으며, 각 튜브의 길이는 최대 6m입니다.

리소스

OPERATIONS MANUAL: NanoAir and ParticleSeeker

액세서리

Software Facility Net

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