가장 중요한 Fab 공간에서 사용하도록 특별히 설계된 목적에 맞게 제작된 나노 파티클 카운터

NanoAir™ 10 응축 파티클 카운터(CPC)는 Particle Measuring Systems(PMS)의 혁신적인 신제품입니다. 기존 클린룸 파티클 카운터의 사용 편의성 및 기능과 함께 CPC의 감도를 제공합니다. 매우 깨끗한 환경을 모니터링하도록 설계된 이 제품은 2.8L/min(0.1 CFM)의 샘플 유속에서 10nm 감지 감도를 제공합니다.

NanoAir 10의 사이즈는 경쟁 제품보다 83% 작기 때문에 내부 반도체 공정 도구 및 장비 프런트 엔드 모듈(EFEM)을 포함하여 초청정 환경의 모든 곳에서 사용할 수 있습니다. 혁신적인 특허 출원 중인 작동 유체 처리 시스템 설계는 견고하고 효율적이며 연간 요구되는 작동 유체 재충전과 교정 사이에 어떤 종류의 유지 관리나 사용자 개입 없이 365일 24시간 연속 작동이 가능합니다. 따라서 샘플링 및 데이터 수집 중단과 도구 가동 중지 시간이 줄어듭니다.

10포트 매니폴드 동반 제품(ParticleSeeker™)은 여러 샘플 위치를 순차적 또는 프로그래밍된 순서로 모니터링 해야 하는 어플리케이션을 지원합니다.

또한 NanoAir는 PMS의 HPD-III와 호환되는 고압 가스이며 PMS Facility Net 시설 모니터링 소프트웨어를 사용하여 데이터를 보고 분석하고 보고하거나 타사 SCADA 시스템 또는 프로세스 도구 입력으로 직접 전송할 수 있습니다.

PMS (Particle Measuring System)는 Nanoair 파티클 카운터를 엔지니어, 제조, 설치, 교정, 수리 및 유지 관리해 드립니다.