부식성 액체용 배치 샘플러
CLS-700 T Corrosive Liquid Particle Sampler
대표적인 적용 분야
- 습식 공정 모니터링
- 화학 공정 제어
- 욕조 모니터링
- 발포성 액체 내 입자 농도 측정
제품 상세 내역
기포를 제거하고, 입자 측정의 정확성을 보장하며, SEMI C1 규격을 준수하는 화학 물질의 공정 제어를 효율화합니다.
- 최대 150°C의 온도에서 황산을 비롯한 다양한 부식성 액체를 처리할 수 있습니다.
- 0.2µm에서 20µm에 이르는 입자 크기 범위를 지원하는 여러 LiQuilaz® 입자 계수기와 호환되어, 반도체 및 화학 공정 모니터링에 적합합니다.
- FacilityNet 소프트웨어는 SPC 차트, 시간별 그래프 및 센서 상태를 통해 온라인 시료 채취 과정을 간소화합니다.
- SamplerSight 소프트웨어는 배치별 시료 채취, 고급 데이터 저장 및 검색, 보고서 생성을 지원합니다.
