UltraChem® 40 Liquid Particle Counter

Sensitivity range: 40 - 125 nm

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제품 상세 내역

  • 다양한 Chemical과 호환가능
  • Sensitivity 40nm
  • 측정 가능 Chemical: PGMEA, photoresist solvents, 불화수소(HF), 황산(H2SO4) 등
  • 품질 보증 기간 3년
  • 반도체 레이저 다이오드 사용
  • 효율적인 Liquid Particle 모니터링을 위한 심플한 디자인
  • 온라인 및 배치 샘플링 기능 지원
  • 다양한 통신 프로토콜 지원
  • 데이터 품질 향상을 위한 대용량 Sample Volume
  • 적응형 기술을 적용하여 대부분의 광학적 오염에 영향을 받지 않는 Particle Counter
  • Particle Counter가 감지하는 Particle을 실시간으로 확인 가능
  • 고분자 산란 유체를 포함한 다양한 화학 물질에서 미세 입자 측정 가능
  • 소형 디자인으로 다양한 위치에 설치 가능
  • 빠른 진단 및 랜덤 분포 감지를 통해 실제 입자 이벤트 발생 시 즉각적인 알림 제공
  • DI(초순수) water 모니터링
  • Chemical Distribution 모니터링
  • Chemical 품질 보증
  • 이머전 리소그래피(Immersion Lithography)
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