ParticleSeeker™ 스마트 매니폴드

감도: 10 nm

ParticleSeeker는 NanoAir™ 10 에어로졸 나노파티클 카운터와 함께 사용할 수 있는 10포트 에어로졸 매니폴드입니다.

가장 중요한 fab 공간에서 사용하도록 특별히 설계된 이 제품은 여러 샘플 위치를 순차적 또는 프로그래밍된 순서로 모니터링 해야 하는 어플리케이션에서 사용할 수 있습니다. ParticleSeeker를 사용하면 내부 프로세스 도구 장비 프런트 엔드 모듈(EFEM) 미니 환경을 고유하게 모니터링 할 수 있습니다. ParticleSeeker와 NanoAir는 함께 10개의 매니폴드 포트를 모두 사용할 때 최대 120m ² 의 fab/프로세스 공간을 모니터링할 수 있는 기능을 제공합니다.

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Particleseeker Airborne Particle Counter

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제품 상세 내역

10 매니폴드 포인트
샘플 유량: 0.1 CFM
샘플 간격: 최소 1초, 최대 3600초
최대 120m² 의 fab/프로세스 공간 샘플링 범위
LED는 활성 샘플링 포트를 나타냅니다.
다중(4) 샘플링 모드
» 앙상블: 모든 포트를 동시에 샘플링
» 시커: 앙상블 작업 중에 식별되는 모든 포트 대상
» 동기화: 실시간으로 공정 도구와 통신하여 EFEM 내에서 웨이퍼를 추적
» 사용자 정의
작은 설치 공간: 8.2 x 5.4 x 4.7인치(21x14x12cm)
계측기 IP 주소 및 위치
건식 접점 릴레이(x4)
추가 센서용 4-20mA IN(x4) 및 OUT(x2)(예: 온도, RH, DAP)
USB를 통한 직렬 연결용 USB(서비스 포트)
엄지 드라이브용 USB
이더넷 포트(2): TCP/IP를 통한 이더넷 프로토콜 및 MODBUS

120m²의 fab/프로세스 공간 샘플링 범위 제공
샘플 나노파티클(<100nm)와 함께 사용하도록 설계 및 제작된 시중 유일의 에어로졸 파티클 매니폴드
누화 및 기타 일반적인 나노입자 수송 처리 문제를 제거합니다.
순차적 또는 프로그래밍된 순서로 여러 샘플 위치를 모니터링하는 기능
다중 입력/출력 통신 인터페이스는 원활한 SCADA 데이터 전송을 가능하게 하여 공정 도구 다운타임을 줄입니다
DC 전원 입력 및 출력을 통해 NanoAir 10은 ParticleSeeker와 데이지 체인 방식으로 전원을 공유하고 AC 콘센트 사용을 최소화할 수 있습니다

ParticleSeeker + NanoAir 10 (에어로졸 파티클 카운터):