AirSentry® II 멀티 모니터링 시스템
AirSentry II Multi-point AMC Cleanroom Monitor Solutions from Particle Measuring Systems
AirSentry® II 멀티 모니터링 시스템
AirSentry II 멀티 모니터링 시스템은 현재 이용 가능한 최신 AMC 모니터로서, 고감도의 반응형 이온 모빌리티 분광계를 사용하여 청정실 내의 다중 위치로부터 AMC를 감지하고 파악합니다. 시스템은 안전한 소프트웨어 및 통신을 갖춘 온 내장형 컴퓨터와 16 또는 30 포인트 매니폴드 샘플링 시스템을 특징으로 합니다. 현대적인 청정실 제조 구역에서는 프로세스 툴들이 종종 넓은 청정실 구역들과 여러 층에 걸쳐 퍼져있습니다. 공조기는 원치않는 구역들로 분자 오염물질을 쉽게 퍼트려 실제 오염원에서 떨어져 있는 공정 단계에 부정적인 영향을 미칠 수 있는 청정실 내의 공기 대부분을 재순환시킵니다. AirSentry II AMC 모니터링 시스템은 설비에 퍼져있는 많은 수의 샘플 포인트를 커버하는 모니터링 시퀀스들 뿐만 아니라 신속한 오염물 감지를 허용하는 중앙식 비용 효율적인 모니터링 스테이션을 제공합니다. AirSentry II 멀티 모니터링 시스템은 AMC 관리에 중요한 요소 입니다.
어디서부터 시작해야 할지 모르겠어요? 다음 단계는 다음과 같습니다:

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