Liquid Particle Counter: LiQuilaz® II S 시리즈

Sensitivity range: 0.2 – 20 µm

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제품 상세 내역

  • 사이즈 범위 0.3 -3.0μm
  • 유속 80 ± 10% ml/min
  • 광범위한 공정 화학물질과 양립 가능
  • 공정의 어디에서든 쉽게 설치할 수 있도록 하는 적은 설치공간
  • 사용자가 선택하는 파티클 크기 한계값

S02: 0.2 – 2.0 µm, S03: 0.3 – 3.0 µm, S05: 0.5 – 20.0 µm

  • 컴프레션 샘플링을 사용하는 발포성 화학물질 측정
  • 화학적 품질 보장
  • 공정 배스 모니터링
  • DI Water 모니터링
  • 화학물질 전달 시스템
  • 포토레지스트 모니터링
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