UPW의 파티클 모니터링 전략: 300 mm Fabs

요약

초순수(UPW, Ultra Water water)내의 파티클에 의해 발생하는 공정 결함은 상대적으로 드물게 발생하지만, 300mm 웨이퍼와 90nm 선폭에서는 상당한 재정적 영향을 미칠 수 있습니다. 과거에 대부분의 파티클 모니터링 전략은 모바일 및 인라인 고감도 0.05 마이크론 파티클 카운터의 사용에 초점이 맞춰져 있었습니다. 본 논문에서는 성능을 향상하고 데이터 동향을 추적하며 대량을 샘플을 대상으로 고감도 파티클 카운터(0.3마이크론)과 조금 저렴한 저감도(0.1마이크론) 카운터의 조합을 이용하여 비용을 절감할 기회가 있는지 알아봅니다. 이 문서에서는 파티클 카운터의 성능에 대한 크기 민감도, 샘플 볼륨 및 제로 카운트 수준의 영향을 상세히 기술합니다. 실제 모니터링 고려 사항과 다른 필터링 수준을 가진 시스템 사이의 파티클 분포의 차이를 설명합니다.

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